低能電子衍射是一種基本的表面儀器，它是分析曲面的有效工具。它不僅可以研究潔凈單晶（金屬、半導(dǎo)體和絕緣體）的表面結(jié)構(gòu)，還可以研究氣體吸附的結(jié)構(gòu)。

　　低能電子衍射儀由排斥場(chǎng)分析儀、低能電子槍、清洗離子槍、五維樣品架、樣品引入系統(tǒng)和提供超高真空系統(tǒng)組成。

　　制動(dòng)電機(jī)絕緣分析儀的低能電子衍射（LEED）在表面研究中有三個(gè)作用:

　　1.證明表面的有序性及其周期性和對(duì)稱性；

　　2.確定單個(gè)細(xì)胞中原子的位置；

　　3.測(cè)量表面缺陷及其隨溫度、時(shí)間和吸附量的變化。

　　低能電子衍射對(duì)制動(dòng)電機(jī)的影響

　　制動(dòng)電機(jī)絕緣分析儀低能電子衍射的激發(fā)源為低能電子束，僅穿透表面幾層原子。低能電子衍射探測(cè)的是彈性散射電子（只占散射電子的1% ~ 5%），不同方向的電子通過(guò)相干散射發(fā)生衍射。它使用熒光屏來(lái)檢測(cè)衍射點(diǎn)。低能電子衍射測(cè)試要求樣品表面清潔完整。低能電子衍射實(shí)驗(yàn)表明，從原子水平上看，單晶表面是不規(guī)則和不均勻的，表面上存在幾個(gè)不同的位置，如平臺(tái)、臺(tái)階、扭結(jié)位置、額外的原子和平臺(tái)上的空位。

　　低能電子衍射是研究表面晶體學(xué)的重要方法，通過(guò)實(shí)驗(yàn)可以獲得二維表面胞的尺寸、對(duì)稱性、表面重構(gòu)、表面缺陷和相變等信息。